慢速抽水和慢速排气系统

针对颗粒敏感应用的精密真空控制

自动化系统

半自动化系统

自动化系统

半自动化系统

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半自动系统专为需要可靠的慢速抽气和慢速排气但不需要全自动 PLC 工作流程的团队而设计。它能提供与自动化系统相同的硬件质量、真空稳定性和工艺性能，同时具有简化的控制和更大的灵活性。.

系统比较

特点	自动化系统	半自动化系统
硬件配置	√ 相同
真空性能	√ 相同
工艺稳定性	√ 相同
慢速抽气和慢速排气阀硬件	√ 相同阀门
压力斜坡	自动	手册
慢速抽水控制	自动	手册
控制系统	PLC + 触摸屏人机界面	机械/基础数字
工作流程	全自动序列	手动/辅助
检漏仪 / RGA / 烘烤集成	可选和完全集成	外部支持（非集成）
清洁装配水平	100 级	标准（100 级可选）