超高真空校准系统
用于精密测量和系统验证的超高真空校准平台
超高真空校准系统
杜瓦超高压排气和泵站
超高真空校准系统
我们的超高真空校准平台专为精密校准真空计、传感器和测量仪器而设计。该系统提供稳定的超高真空环境、可定制的抽气配置以及灵活的真空室接口，适合实验室和工业应用。.
主要功能
- 稳定的超高压环境 设计用于 10-⁶ 至 10-𠞙 Pa 的操作，具体取决于泵的配置。.
- 模块化校准室： 支持各种仪表类型，如电离仪表、电容压力计、皮拉尼仪表和残余气体分析仪。.
- 多种泵送选项： 涡轮分子+背泵模块，或混合泵设置，以获得更高的稳定性。.
- 集成加热选项： 可选配烘烤室，以提高仪器的可重复性并减少排气。.
- 灵活的端口配置： CF/ISO/KF 端口可用于不同的校准标准和仪器。.
- 可定制的布局 可根据用户要求提供台式、立式或机架安装式。.
技术规格
| 参数 | 规格/说明 |
|---|---|
| 真空范围 | 10-⁶ - 10-⁹ Pa（取决于泵的配置） |
| 抽水系统 | 涡轮分子泵 + 干式后级泵；可选离子泵或 NEG 泵 |
| 校准端口 | CF16 / CF35 / CF63、KF16 / KF25，提供 ISO 端口 |
| 支持的量规类型 | 电离、皮拉尼、电容式压力计、RGA、定制仪器 |
| 室内烘焙 | 可选择外部加热或集成加热外壳 |
| 系统布局选项 | 台式/垂直塔式/机架式 |
杜瓦超高压排气和泵站
Dewar 超高真空放气和抽气站专为精确的高真空和超高真空制备而设计。主要功能包括
- 排气系统： 用于在线烘烤的集成式加热罩，可完全覆盖管道或腔室。最高温度 400℃，外保温层确保安全，全自动温度控制。.
- 真空系统： 可根据实验要求配置泵组和法兰接口。标准排气真空 10-⁸ Pa，超高真空可达 10-⁹ Pa。.
- 辅助功能： 可选配快速样品导入口、减振、三维运动、旋转入口等功能。.
- 对齐和多站性能： 可提供单工位、双工位或多工位配置，最多 28 个工位。.
技术要点
| 特点 | 规格/说明 |
|---|---|
| 排气系统 | 集成加热罩，最高 400℃，外绝缘，全自动温度控制 |
| 真空系统 | 可配置泵组和法兰类型；标准真空度为 10⁸ Pa，超高真空度可达 10𠞙 Pa |
| 辅助功能 | 快速采样口、减振、三维运动、旋转输入 |
| 对齐和多站 | 单工位、双工位或多工位，最多 28 个工位 |